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2.5D相機在機器視覺缺陷檢測系統(tǒng)中的具體應(yīng)用流程和方法如下:
捕捉平面信息和表面深度變化:
2.5D相機能夠捕捉物體的平面信息,并反映表面深度的變化,即使是微米級別的瑕疵也能被檢測出來。
去除背景干擾和表面反光影響:
2.5D視覺技術(shù)能去除背景干擾和表面反光的影響,這對于高反光或透明物體的缺陷檢測尤為重要。
標(biāo)準(zhǔn)化與多功能并舉:
2.5D視覺技術(shù)僅需單個光源就能同時檢測多種類型的缺陷,不受角度限制,提升了方案的通用性和效率。
一鍵式檢測與多種結(jié)果圖輸出:
2.5D視覺檢測系統(tǒng)支持一鍵式檢測,快速輸出多種算法結(jié)果圖,全面展示多種缺陷。
參數(shù)設(shè)置與調(diào)試工具集成:
用戶可以在2.5D客戶端軟件便捷地設(shè)置參數(shù),并集成多種調(diào)試工具,提高操作效率。
連接算法平臺進行缺陷識別:
2.5D視覺檢測系統(tǒng)支持連接算法平臺進行缺陷識別,實現(xiàn)高精度成像與缺陷識別的全流程打通。
特殊光場照明與圖像信息增強技術(shù):
利用特殊光場照明,并利用圖像信息增強的新技術(shù),助力解決難以檢測的缺陷類型。
一次采集完成不同形態(tài)瑕疵呈現(xiàn):
2.5D成像系統(tǒng)可以一次采集,完成待檢產(chǎn)品的不同形態(tài)瑕疵呈現(xiàn),適用于反光產(chǎn)品的表面瑕疵高速檢測。
圖像調(diào)節(jié)功能:
2.5D成像系統(tǒng)提供圖像調(diào)節(jié)功能,可對預(yù)處理后的圖像進行二次調(diào)節(jié),增強特征對比度或輪廓。
區(qū)分有感和無感特征:
系統(tǒng)還可以區(qū)分有感和無感的特征,即有深度和無深度的信息,提取用戶所需的特征。
程控條紋光一體化解決方案:
利用程控條紋光能夠在同一工位中迅速生成橫向與縱向的條紋圖案,通過相機捕捉物體的鏡像特征,識別出多種缺陷
12.多方向成像與提高對比度:
2.5D光學(xué)系統(tǒng)能夠在多個方向上獲取物體信息,提供更全面的檢測數(shù)據(jù),并通過特定設(shè)計的光線角度和強度增強物體表面的對比度。
通過上述步驟,2.5D相機在缺陷視覺檢測中能夠有效地識別和檢測出高反光或透明物體上的細微缺陷,提高檢測的精準(zhǔn)度和效率。
晶圓光刻對準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學(xué)成像對準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測量技術(shù)進行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個工藝流程,對保證良率、提高效率和實現(xiàn)自動化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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