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3D相機(jī)在小型零件檢測(cè)中的效果是非常顯著的,具體優(yōu)勢(shì)如下:
1.提高檢測(cè)穩(wěn)定性:3D相機(jī)能夠?qū)鹘y(tǒng)2D圖像難以辨別的內(nèi)容進(jìn)行自動(dòng)化檢測(cè),穩(wěn)定檢測(cè)和工件圖案相同的瑕疵,及細(xì)微凹陷等。這對(duì)于小型零件來說尤為重要,因?yàn)樗鼈兊奶卣骺赡芊浅<?xì)微,2D圖像難以區(qū)分。
2.提升檢測(cè)效率:使用3D相機(jī)可以在線上獲取3D信息,實(shí)現(xiàn)高效的檢測(cè),支持高速生產(chǎn)線的檢測(cè),在維持單件產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間的同時(shí),實(shí)現(xiàn)全數(shù)檢測(cè)。
3.減少成本和人工費(fèi)用:3D相機(jī)能夠在拍攝3D圖像的同時(shí),獲取2D圖像(濃淡圖像),從而有效削減設(shè)備成本。此外,對(duì)于此前依賴于目視檢測(cè)及離線檢測(cè)的檢測(cè)工序,可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,起到了削減人工費(fèi)的效果。
4.高精度測(cè)量:3D相機(jī)能夠提供高精度的測(cè)量,例如某些3D相機(jī)的精度可以達(dá)到0.03mm,這對(duì)于精密小型零件的檢測(cè)至關(guān)重要。
5.適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境:3D相機(jī)能夠適應(yīng)高反光、半透明物體和黑色物體等復(fù)雜成像環(huán)境,展現(xiàn)出良好的成像性能,這對(duì)于小型零件的多樣性和復(fù)雜性提供了解決方案。
6.細(xì)節(jié)捕捉:高像素三維掃描儀能夠更快速地獲取零件的全部尺寸信息,更準(zhǔn)確地獲取“微小”細(xì)節(jié)數(shù)據(jù),對(duì)復(fù)雜曲面測(cè)量更方便,這對(duì)于超小尺寸零件的檢測(cè)工作尤為重要。
7.減少人工干預(yù):3D相機(jī)減少了人工干預(yù),避免讀數(shù)誤差,測(cè)量方式多元化,可以測(cè)量空間任意尺寸,這對(duì)于提高小型零件檢測(cè)的準(zhǔn)確性和一致性非常有幫助。
綜上所述,3D相機(jī)在小型零件檢測(cè)中提供了高精度、高效率、高穩(wěn)定性的檢測(cè)效果,并且能夠適應(yīng)各種復(fù)雜環(huán)境,是提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的重要工具。
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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