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在芯片制造過程中,在芯片切割后的視覺定位及視覺測(cè)量是非常重要的,對(duì)于后續(xù)的封裝、測(cè)試等工序至關(guān)重要,因?yàn)橹挥行酒痪_定位,才能保證后續(xù)操作的準(zhǔn)確性和可靠性。
康耐德芯片視覺檢測(cè)系統(tǒng)針對(duì)這方面主要有以下功能:
在視覺定位方面:
精確定位芯片位置:機(jī)器視覺系統(tǒng)能夠快速準(zhǔn)確地找到切割后的芯片并確認(rèn)其位置。
適應(yīng)復(fù)雜形狀和變化:對(duì)于形狀不規(guī)則或在切割過程中發(fā)生變形的芯片,視覺定位系統(tǒng)可以通過模板匹配、邊緣檢測(cè)等,實(shí)現(xiàn)高精度定位。
提高生產(chǎn)效率:視覺定位系統(tǒng)可以一次性定位多個(gè)芯片,提高了生產(chǎn)效率,減少了生產(chǎn)時(shí)間。
在視覺測(cè)量方面:
測(cè)量芯片尺寸:視覺測(cè)量技術(shù)可以精確測(cè)量芯片的尺寸,包括長(zhǎng)度、寬度、厚度等關(guān)鍵參數(shù)
檢測(cè)切割間隙和崩缺:在芯片切割后,視覺測(cè)量系統(tǒng)能夠檢測(cè)切割間隙是否符合要求,以及芯片是否存在崩缺等缺陷。
實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度:現(xiàn)代機(jī)器視覺測(cè)量技術(shù)能夠達(dá)到亞微米級(jí)的測(cè)量精度,滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)高精度測(cè)量的嚴(yán)格要求。
康耐德芯片視覺檢測(cè)系統(tǒng)在芯片切割后的視覺定位及視覺測(cè)量方面,對(duì)于提高生產(chǎn)效率、保證產(chǎn)品質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本等方面具有顯著優(yōu)勢(shì),是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要環(huán)節(jié).
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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