晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺系統(tǒng)

康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像，利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。

視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù)，貫穿整個(gè)工藝流程，對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。

在半導(dǎo)體制造流程中，硅錠需要被精確切割成薄片（即晶圓），以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。