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在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
康耐德智能的CCD視覺定位系統(tǒng),可能會具備以下特點:
高精度定位:采用高分辨率的CCD相機和先進的圖像處理算法,能夠亞像素級地識別硅錠的位置、角度和特征,確保切割路徑的精確對準,減少材料浪費。
抗干擾能力:半導(dǎo)體制造環(huán)境復(fù)雜,可能存在光照變化、粉塵等干擾。優(yōu)秀的視覺系統(tǒng)通常具備抗光照變化、抗遮擋的能力,能夠在復(fù)雜條件下穩(wěn)定工作2。
自動化與智能化:系統(tǒng)能夠自動完成圖像采集、特征提取、位置計算,并引導(dǎo)切割設(shè)備進行精準作業(yè),提升自動化程度,減少人工干預(yù)。
數(shù)據(jù)追溯與分析:部分系統(tǒng)可能集成數(shù)據(jù)管理功能,記錄切割過程中的定位信息、缺陷數(shù)據(jù)等,便于生產(chǎn)追溯和工藝優(yōu)化47。
?? 系統(tǒng)可能的構(gòu)成
一套完整的硅錠切割定位CCD視覺系統(tǒng)通常包含:
工業(yè)相機(CCD/CMOS):高分辨率、高幀率的相機用于捕獲硅錠的清晰圖像。
光學(xué)鏡頭:選擇合適的鏡頭以匹配視野和精度要求。
照明系統(tǒng):特定的光源(如背光、同軸光、環(huán)形光)來凸顯硅錠的特征,減少反光、陰影等干擾。
圖像處理軟件:這是系統(tǒng)的核心,負責(zé)運行定位、測量和檢測算法??赡軙玫絺鹘y(tǒng)的機器視覺工具(如邊緣檢測、Blob分析)或集成深度學(xué)習(xí)技術(shù)35來處理更復(fù)雜的特征。
控制系統(tǒng):與切割設(shè)備(如激光切割機、線鋸)進行通信,輸出定位結(jié)果并引導(dǎo)其運動。
晶圓光刻對準視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學(xué)成像對準系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機捕捉晶圓上的套刻標記圖像,利用光學(xué)圖像測量技術(shù)進行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個工藝流程,對保證良率、提高效率和實現(xiàn)自動化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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