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圖像畸變校正:
使用圖像校正工具配合圓點(diǎn)矩陣標(biāo)定板,可對(duì)畸變的圖像進(jìn)行校正。
圖像校正工具:
康耐德-AOI機(jī)器視覺系統(tǒng):
康耐德機(jī)器視覺系統(tǒng)具備占用空間小,散熱性能出色,運(yùn)行流暢,支持多相機(jī)同時(shí)采集,多種配置可選。
具備以下功能:
1.豐富的測(cè)量、檢測(cè)工具可實(shí)現(xiàn)視覺應(yīng)用檢測(cè)的的各項(xiàng)功能
2.通過串口、以太網(wǎng)以及Modbus等協(xié)議將檢測(cè)判斷結(jié)果輸出到外部設(shè)備
3.豐富的測(cè)量、檢測(cè)、運(yùn)動(dòng)控制等工具,可實(shí)現(xiàn)視覺應(yīng)用檢測(cè)的各項(xiàng)功能
4.系統(tǒng)工具提供了各種檢測(cè)信息、數(shù)據(jù)分析、報(bào)表統(tǒng)計(jì)功能
5.豐富的幾何測(cè)量工具,可實(shí)現(xiàn)視覺應(yīng)用測(cè)量的各項(xiàng)功能。
6.通過設(shè)置對(duì)應(yīng)點(diǎn),自動(dòng)計(jì)算出圖像坐標(biāo)系到實(shí)際坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換系數(shù),之后將圖像的工具檢測(cè)結(jié)果轉(zhuǎn)換到實(shí)際坐標(biāo)系并可校準(zhǔn)。
7.用于控制流程的邏輯編輯,對(duì)數(shù)據(jù)做處理判斷的邏輯選項(xiàng)。
8.對(duì)圖像做包括預(yù)處理等操作,可以改善因工作狀態(tài)或外部環(huán)境引起的條件變化。采用適合檢測(cè)圖像突出測(cè)量重點(diǎn)降低無效操作。
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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