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自動化視覺檢測中的3D成像是一種使用3D相機(jī)和圖像處理技術(shù)來測量和識別物體形狀的方法。3D成像技術(shù)可以提供物體的深度信息,從而提供更準(zhǔn)確和可靠的數(shù)據(jù),用于質(zhì)量控制、物體識別和機(jī)器人導(dǎo)航等應(yīng)用。
3D成像技術(shù)包括多種方法,如激光掃描、結(jié)構(gòu)光、立體視覺、深度圖像等。
激光掃描:是通過測量激光束在物體表面上的反射時間來計算物體表面的距離;
結(jié)構(gòu)光:是通過投射已知結(jié)構(gòu)的光圖案到物體表面,并測量光圖案的變形來計算物體表面的距離;
立體視覺:是通過從不同角度拍攝同一物體表面,并通過對圖像進(jìn)行立體匹配和三角測量來計算物體表面的距離;
深度圖像:則是通過使用深度相機(jī)直接獲取物體表面的深度圖像,從而得到物體表面的距離信息
在自動化視覺檢測中,3D成像技術(shù)可以用于各種應(yīng)用,例如:
檢測物體的形狀和尺寸,確保符合設(shè)計規(guī)范和質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。
識別物體的特征,例如表面紋理和凸起等,用于分類和跟蹤。
檢測物體的缺陷和損傷,例如劃痕、凹痕和裂縫等。
測量物體的距離和位置,用于機(jī)器人導(dǎo)航和自動化操作。
康耐德點膠3D視覺系統(tǒng)采用先進(jìn)的線光譜掃描儀可以對柔性屏點膠膠線的形貌進(jìn)行快速掃描,秒現(xiàn)整個產(chǎn)品的3D輪廓,而且能通過特定算法精準(zhǔn)對點膠面進(jìn)行檢測,從而實現(xiàn)對點膠厚度、寬度達(dá)到微米級的檢測。
3D成像技術(shù)為自動化視覺檢測提供了更準(zhǔn)確、可靠和高效的數(shù)據(jù)采集和處理方法,有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
晶圓光刻對準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學(xué)成像對準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個工藝流程,對保證良率、提高效率和實現(xiàn)自動化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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