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康耐德的UVW高精度視覺對位平臺屬于三軸并聯(lián)運(yùn)動機(jī)構(gòu),通過3 個線性移動軸的并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)XY 兩軸線性運(yùn)動和θz 軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。配合專用運(yùn)動控制器內(nèi)嵌的運(yùn)動算法和軟件,可以實(shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動、兩軸線性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動,UVW平臺對位系統(tǒng)通過對定位參照點(diǎn)的識別,采用亞像素級的圖像對位算法計算出被測物體在 XYθ方向的偏移量,并自動控制移動平臺反向移動相應(yīng)的移動量,糾正被測物體的位置,實(shí)現(xiàn)精確自動定位,對位精度可達(dá)微米級,平臺相機(jī)采用一鍵標(biāo)定,可識別任意形狀的靶標(biāo)
康耐德的UVW高精度視覺對位平臺采用進(jìn)口高剛性高精度導(dǎo)軌,通過CCD影像進(jìn)行對位,對位時間短且精確,可在2-3次對位調(diào)整后完成對位,對位精度可達(dá)0.01mm,滑臺面尺寸240*240mm,重復(fù)定位精度 ±1μm。
康耐德的UVW高精度視覺對位平臺應(yīng)用主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓切割、封裝檢測、PCB制造行業(yè)的曝光機(jī)、絲網(wǎng)印刷機(jī)、層壓機(jī)、壓力機(jī)、PCB板切割、手機(jī)制造、lcd/led面板制造等高速高精度行業(yè),太陽能電池板銀絲印刷。
由于人工衍生的各種問題、精度無法達(dá)到等情況。UVW高精度視覺對位平臺是未來高度自動化行業(yè)不可或缺的產(chǎn)品。
晶圓光刻對準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學(xué)成像對準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個工藝流程,對保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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