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隨著自動(dòng)化領(lǐng)域的不斷革新,機(jī)器視覺(jué)技術(shù)的應(yīng)用變得日益廣泛。在自動(dòng)化制造領(lǐng)域,機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)通過(guò)測(cè)量和檢測(cè)工件的尺寸參數(shù),如長(zhǎng)度、圓形度、角度、弧線以及區(qū)域等,為生產(chǎn)線提供了巨大的便利。這些系統(tǒng)不僅能夠?qū)崟r(shí)獲取產(chǎn)品的精確尺寸數(shù)據(jù),還能夠在生產(chǎn)線上即時(shí)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行判定和分類(lèi)。
機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)在于其低成本、高精度和易于安裝的特點(diǎn)。結(jié)合功能強(qiáng)大的視覺(jué)軟件,這些系統(tǒng)變得非常靈活和方便,可以輕松調(diào)整以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。此外,這些系統(tǒng)還能夠存儲(chǔ)測(cè)量數(shù)據(jù),為后續(xù)的統(tǒng)計(jì)分析提供有力的支持。因此,機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)已成為許多行業(yè)中的首選解決方案。
然而,在實(shí)際應(yīng)用中,一些客戶在追求高精度檢測(cè)時(shí)遇到了挑戰(zhàn)。例如,對(duì)于加工零件的外形尺寸和內(nèi)外徑的測(cè)量,要求達(dá)到10um的精度。盡管許多配置選擇了500萬(wàn)像素的相機(jī),但在實(shí)際測(cè)試中,很難達(dá)到這一精度。這主要是由于以下幾個(gè)方面的原因:
相機(jī)的選擇:為了降低成本,一些客戶選擇使用CMOS相機(jī)。然而,這種相機(jī)在拍攝物體邊緣時(shí)可能會(huì)遇到對(duì)比度差和噪聲大的問(wèn)題,從而影響軟件測(cè)量的準(zhǔn)確性。因此,推薦使用CCD芯片相機(jī)以獲得更好的測(cè)量效果。
鏡頭的選擇:由于機(jī)械零部件的多樣性和復(fù)雜性,一些普通鏡頭可能難以捕捉到零部件的某些細(xì)節(jié),如內(nèi)壁等。這增加了軟件處理的難度,并對(duì)圖像處理算法提出了更高的要求。
光源的選擇:一些客戶可能會(huì)選擇普通的背光源來(lái)降低成本。然而,在高精度檢測(cè)中,背光源可能會(huì)產(chǎn)生衍射現(xiàn)象,導(dǎo)致測(cè)量精度下降。此外,光源亮度的變化也會(huì)對(duì)圖像中的亮暗產(chǎn)生較大影響。
如果您在工業(yè)生產(chǎn)線中需要機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)用于產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè),我們康耐德智能為您提供專(zhuān)業(yè)的咨詢和方案設(shè)計(jì)服務(wù)。我們會(huì)根據(jù)您的實(shí)際需求,從專(zhuān)業(yè)的角度出發(fā),為您提供合適的解決方案。
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺(jué)系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺(jué)定位系統(tǒng)在這一過(guò)程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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