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康耐德機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)通過(guò)使用高精度的鏡頭、適當(dāng)?shù)恼彰?、精確的圖像處理算法和機(jī)器學(xué)習(xí)技術(shù),可以提供多種尺寸測(cè)量的高精度結(jié)果,以下是一些常見(jiàn)的尺寸測(cè)量類型:
線性尺寸:測(cè)量物體的直線長(zhǎng)度,如長(zhǎng)度、寬度、高度、直徑等。
面積測(cè)量:計(jì)算物體的平面區(qū)域,如圓形、矩形或其他形狀的面積。
體積測(cè)量:通過(guò)立體視覺(jué)技術(shù)或多視角測(cè)量,估算物體的體積。
角度測(cè)量:測(cè)量物體的內(nèi)角或外角,如物體的傾斜角度或彎曲角度。
曲率測(cè)量:測(cè)量物體表面的彎曲程度或曲率半徑。
間隙和距離:測(cè)量物體間或物體與特定點(diǎn)之間的距離。
圓度和同心度:測(cè)量圓形物體的圓度偏差和同心度偏差。
平面度:評(píng)估物體表面的平整度或平行度。
對(duì)稱性:測(cè)量物體的對(duì)稱性,如左右對(duì)稱或前后對(duì)稱。
輪廓測(cè)量:測(cè)量物體的輪廓形狀,包括不規(guī)則形狀的物體。
厚度測(cè)量:測(cè)量物體的厚度,尤其是在透明或半透明材料上。
螺紋測(cè)量:測(cè)量螺紋的直徑、螺距和角度。
康耐德智能機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)可以滿足以上各種的數(shù)據(jù)測(cè)量,滿足企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的各種需求,具有實(shí)時(shí)性和高準(zhǔn)確性,能夠自動(dòng)化這些檢測(cè)過(guò)程,提升生產(chǎn)質(zhì)量和效率。
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺(jué)系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺(jué)定位系統(tǒng)在這一過(guò)程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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