晶圓光刻對準視覺系統(tǒng)

康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學成像對準系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機捕捉晶圓上的套刻標記圖像，利用光學圖像測量技術(shù)進行高精度定位。

視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù)，貫穿整個工藝流程，對保證良率、提高效率和實現(xiàn)自動化至關(guān)重要。

在半導(dǎo)體制造流程中，硅錠需要被精確切割成薄片（即晶圓），以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。