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理解機(jī)器視覺系統(tǒng)的最簡單方法之一是將其視作機(jī)器設(shè)備的“眼睛”。機(jī)器視覺系統(tǒng)使用相機(jī)捕獲的數(shù)字輸入來確定下一步動作。企業(yè)常使用機(jī)器視覺系統(tǒng)來提高產(chǎn)品質(zhì)量、效率和運(yùn)營。
自1950年代以來,一部分制造工廠就開始使用機(jī)器視覺系統(tǒng),但在1980年代至1990年代,才真正開始發(fā)展。無論是工業(yè)應(yīng)用還是非工業(yè)應(yīng)用,軟件和硬件的相結(jié)合使機(jī)器視覺系統(tǒng)更加先進(jìn)。以下是機(jī)器視覺系統(tǒng)中典型組件:
· 傳感器
· 幀抓取器
· 工業(yè)相機(jī)(數(shù)字或模擬)
· 足以讓相機(jī)捕捉高質(zhì)量圖像的工業(yè)光源
· 能夠分析圖像的軟件和計(jì)算機(jī)
· 可以視覺識別的算法;
· 輸出,例如屏幕或機(jī)械臂
當(dāng)機(jī)器視覺系統(tǒng)用于檢查制造操作中的產(chǎn)品時,這些組件如何協(xié)同工作,這是工業(yè)視覺檢測中的一個非常常見的例子。
當(dāng)傳感器檢測到產(chǎn)品的存在時,視覺系統(tǒng)變開始工作。然后,傳感器觸發(fā)光源照亮該產(chǎn)品,并觸發(fā)攝像頭捕捉產(chǎn)品并拍攝產(chǎn)品的圖像。圖像采集卡(一種數(shù)字化設(shè)備)將相機(jī)的圖像轉(zhuǎn)換為數(shù)字輸出。數(shù)字文件保存在計(jì)算機(jī)上,因此可以通過系統(tǒng)軟件進(jìn)行分析。該軟件將文件與一組預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較以識別缺陷。如果發(fā)現(xiàn)缺陷,產(chǎn)品將無法通過檢查。
晶圓光刻對準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學(xué)成像對準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個工藝流程,對保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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