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工業(yè)相機(jī)又俗稱(chēng)攝像機(jī),相比于過(guò)去的民用相機(jī)(攝像機(jī))而言,它具備高的圖像穩(wěn)定性能、高傳輸數(shù)據(jù)能力和高抗干擾性等,現(xiàn)階段市場(chǎng)上工業(yè)相機(jī)基本上都是基于CCD或CMOS芯片的相機(jī)。
按照使用的不一樣分別采用CCD或CMOS相機(jī)CCD工業(yè)相機(jī)主要是使用在運(yùn)動(dòng)物體的圖像提取,如貼片機(jī)視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng),不過(guò)伴隨著CMOS技術(shù)的發(fā)展,很多貼片機(jī)也在采用CMOS工業(yè)相機(jī)。應(yīng)用于視覺(jué)自動(dòng)檢測(cè)的計(jì)劃方案或制造行業(yè)中通常用CCD工業(yè)相機(jī)比較多。CMOS工業(yè)相機(jī)由低成本,能耗低也使用變得越來(lái)越廣泛。
其中,CCD是現(xiàn)階段視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)最為常用的圖像傳感器。它集光電轉(zhuǎn)換及電荷存儲(chǔ)、電荷轉(zhuǎn)移、信號(hào)讀取于一體,是常見(jiàn)的固態(tài)成像元器件。
CCD的突出特點(diǎn)是用電荷作為信號(hào),而有別于其他元器件是用電流或者電壓為信號(hào)。這種成像元器件通過(guò)光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生電荷包,而后在驅(qū)動(dòng)脈沖的效果下轉(zhuǎn)移、放大輸出圖像信號(hào)。
常見(jiàn)的CCD相機(jī)由光學(xué)鏡頭、時(shí)序及同步信號(hào)發(fā)生器、垂直驅(qū)動(dòng)器、模擬/數(shù)字信號(hào)處理電路組成。CCD作為一類(lèi)功能元器件,與真空管相比較,具備無(wú)灼傷、無(wú)遲滯、低壓工作、低功耗等優(yōu)點(diǎn)。
CMOS(互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)圖像傳感器是當(dāng)今使用最普遍、重要性最高的傳感器之一。其主要是采用感光單元陣列和輔助控制電路獲取對(duì)象景物的亮度和色彩信號(hào),并通過(guò)復(fù)雜的數(shù)字信號(hào)處理和圖像處理技術(shù)輸出數(shù)字化的圖像信息。CMOS圖像傳感器是一個(gè)高度集成的圖像系統(tǒng)芯片。當(dāng)外界光線照射到CMOS圖像傳感器上的時(shí)候,傳感器擁有的感光單元陣列會(huì)發(fā)生光電效應(yīng),光電效應(yīng)使得陣列上的每個(gè)感光單元產(chǎn)生對(duì)應(yīng)外界色彩和亮度的電荷信號(hào),之后信號(hào)會(huì)被模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成數(shù)字圖像信號(hào),從而還原出現(xiàn)實(shí)的影像。
CMOS圖像傳感器將光敏元陣列、圖像信號(hào)放大器、信號(hào)讀取電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、圖像信號(hào)處理器及控制器集成在一塊芯片上,還具備局部像素的編程隨機(jī)訪問(wèn)的優(yōu)點(diǎn)。
現(xiàn)階段,CMOS圖像傳感器以其良好的集成性、低功耗、高速傳輸和寬動(dòng)態(tài)范圍等特點(diǎn)在機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)的高分辨率和高速場(chǎng)合得到了廣泛的使用。
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測(cè)的光學(xué)成像對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺(jué)系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對(duì)保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺(jué)定位系統(tǒng)在這一過(guò)程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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