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從晶圓到芯片是一個(gè)復(fù)雜的過程,晶圓是制造芯片的基本材料,由高純度的單晶硅切割而成。芯片則是基于晶圓上制造出的微小電子元件,從晶圓到芯片,機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)貫穿始終,為制造工藝提供了重要的支持和保障。
在晶圓制造階段,機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)主要用于以下工序:
1.表面檢測:通過對晶圓表面進(jìn)行掃描,檢測表面是否存在雜質(zhì)、劃痕、凸起等缺陷。
2.尺寸測量:通過高精度測量系統(tǒng),對晶圓的直徑、厚度、形狀等進(jìn)行測量,確保晶圓尺寸符合要求。
3.表面激光字符識(shí)別:利用機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)識(shí)別刻寫在晶圓表面的字符,包括產(chǎn)品信息、批次號(hào)等。
4.晶圓切割:通過機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)對晶圓進(jìn)行精確切割,確保切割后的芯片尺寸和形狀一致。
5.定位與找切割道:利用機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)對晶圓進(jìn)行精確定位,確保切割道的位置準(zhǔn)確,從而提高芯片的良率。
6.缺陷檢測:在晶圓制造的各個(gè)階段進(jìn)行缺陷檢測,包括表面缺陷、線寬均勻性等,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
康耐德智能在半導(dǎo)體領(lǐng)域也進(jìn)行了自主研發(fā),針對晶圓和晶片對位、封裝元件切割檢測、半導(dǎo)體晶圓切割質(zhì)量檢測、半導(dǎo)體晶片ic表面檢測、芯片印刷字符識(shí)別都有一系列的機(jī)器視覺系統(tǒng)解決方案。
從晶圓到芯片的生產(chǎn)過程中,機(jī)器視覺系統(tǒng)發(fā)揮著重要的作用。在各個(gè)制造工序中,機(jī)器視覺系統(tǒng)的應(yīng)用不僅提高了生產(chǎn)效率,還為產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力保障。
晶圓光刻對準(zhǔn)視覺系統(tǒng)
康耐德智能已掌握套刻誤差量測的光學(xué)成像對準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過高分辨率 CCD 相機(jī)捕捉晶圓上的套刻標(biāo)記圖像,利用光學(xué)圖像測量技術(shù)進(jìn)行高精度定位。
視覺系統(tǒng)在晶圓制造中是不可或缺的核心技術(shù),貫穿整個(gè)工藝流程,對保證良率、提高效率和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化至關(guān)重要。
在半導(dǎo)體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續(xù)加工。切割的精度直接影響到晶圓的質(zhì)量和后續(xù)生產(chǎn)的良品率。視覺定位系統(tǒng)在這一過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
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